Hine Design Inc. 자동 웨이퍼 핸들링 유닛 분해도
도구
해당 기기를 고치는데 사용하는 일반 도구들 입니다. 매 절차에 모든 도구를 사용하지는 않습니다.
[summary]반도체 제조에 사용되는 장비입니다.[\/summary]
Hine Design은 Asyst Technologies Inc.에 인수되었으며, 이후 Crossing Automation에 인수되었고, 현재는 [http:\/\/www.brooks.com\/|Brooks Automation|new_window=true]에 인수되었습니다.